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1916年爱因斯坦提出的“自发和受激辐射”理论是现代激光系统的物理学基础。但是，在此之后的40多年里，一直没有人在实验室证实受激辐射的存在。

20世纪50年代由于无线电技术的迅速发展，Schawlow和Townes依据爱因斯但的理论，将电磁波的研究范围从短波扩大到微波波段，研究成功了当时被称为MASER的一种仪器，即微波激射器，又称微波量子放大器，这种设备可使微波束更趋于集中。

1958年，他们又将微波激射器原理从微波扩大到了光谱波段，提出了激光器理论。此时，TheodoreMaiman也正在进行这方面的研究。

 1960年，他成功地应用人工合成的淡红色宝石晶体制造出世界上第一台激光器，为输出波长694.3nm，脉能400mJ的相干光，被称做激光。为了表明其威力，Maiman用毫米波的脉冲激光在一打剃须刀片上成功地进行了一次钻孔实验。之后的4年里，激光器家族又相继出现了许多种类型。

1961年，Java等研制成功了波长1150nm、近红外线的氦氖（He－Ne）激光器；同年，Johnson发明了掺铷钇铝石榴石（Nd：YAG）激光器。

1962年，Bennett研制成功了波长为488nm的氩（Argon）激光器。

1964年，Pate等又发明了二氧化碳（CO2）激光器。随后，多种固体、气体和半导体激光器相继问世，标志着一门新兴学科——激光技术的形成。目前激光已广泛应用到激光焊接、激光切割、激光打孔（包括斜孔、异孔、膏药打孔、水松纸打孔、钢板打孔、包装印刷打孔等）、激光淬火、激光热处理、激光打标、玻璃内雕、激光微调、激光光刻、激光制膜、激光薄膜加工、激光封装、激光修复电路、激光布线技术、激光清洗等。